長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


        SOM245/10

        SOM255/10

        SOM200系列測量設備主要應用于TFT Array、Color Filter和FOPLP等制程工藝。其中,SOM200/10系列為長寸測量設備,又稱為長短寸測量設備或基板變形檢測設備或精密測長機,主要應用于長寸測量,兼容短寸測量,可選配光刻膠膜厚測量;SOM200/10A系列為關鍵尺寸測量設備,主要應用于短寸測量。該系列設備沿用高分辨率曝光機相關技術,可用于4.5代、5代、5.5代或6代等各種基板的測量。
           產品特征

        ● 多功能測量

        ● 高測量精度

        ● 高測量效率

        ● 高效的溫度控制和高效潔凈系統

           主要技術參數

         型號

        SOM245

         SOM255

         SOM260

        基板尺寸

        730mm×920mm

        1100mm×1300mm

        1500mm×1850mm

        1300mm×1500mm

         TP測量重復性

        300nm

         300nm

        300nm

         TP測量復現性

        400nm

        500nm

        500nm

        CD/OL測量重復性

        30nm

        30nm

        30nm

        CD/OL測量復現性

        40nm

        40nm

        40nm

        Tact Time

        5 min

        6 min

        7 min

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